大河網訊(記者 王建芳)2月18日,河南省“奮進新征程 建功新時代”采訪團來到鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司(以下簡稱“三磨所”)超硬材料磨具國家重點實驗室采訪觀摩。
眾所周知,半導體芯片產業是電子信息產業的核心與基石,作為高端制造業的“皇冠明珠”,芯片制造代表了世界最高水平精細加工技術。而芯片劃切因其涉及樹脂、陶瓷、銅鎳等金屬、玻纖等多元成分,具有軟硬不同狀態、復雜多層結構等特質,其劃切極易出現崩口、引線拉毛、分層、燒熔等損傷問題,困難極大。
超硬材料磨具國家重點實驗室主任劉明耀介紹說,該實驗室是行業唯一國家級重點實驗室。之前,我國芯片自給率低,相關劃切技術也是長期落后于人,已成為制約我國電子信息產業發展的“芯病”。在國家科技計劃項目的支持下,三磨所超硬材料磨具國家重點實驗室突破了超薄砂輪高效精密劃切磨損機制、極薄砂輪(0.01mm)等系列關鍵技術,研制出具有自主知識產權的半導體芯片精密劃切用系列超薄砂輪,解決了我國半導體行業芯片的精密高效劃切難題,打破了國外技術壟斷。
目前,該項目成果具備完全自主知識產權,授權專利42項,國家標準2項,且已在鄭州磨料磨具磨削研究所有限公司進行批量化生產,成功應用于日月光、安靠、江蘇長電等國際頂級芯片制造企業。
據了解,超硬材料磨具國家重點實驗室于2015年9月批準籌建,實驗室建成以來,充分發揮學科特色優勢,深度對接國家重大需求、面向國家經濟主戰場,積極承擔重大項目、組建重大團隊、產出重大成果。承擔縱向及橫向科研項目30項,發表論文100余篇,授權發明專利150項,制修訂國家或行業標準32項,相關成果獲得國家省部各級獎勵共13項。
“尤其是針對半導體芯片、航空、船舶、汽車等領域加工需求,開發了多個系列的成套砂輪,打破了國外壟斷,解決了多項精密加工‘卡脖子’難題,處于國際先進水平,有效地促進了行業技術進步,增強了我國超硬材料磨具行業的原始創新能力與核心競爭力。”劉明耀說。